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全新ULVAC愛發科 標準真空泵高真空CRYO-U 系列
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
最大發揮了4-inch低溫泵的排氣特性。
高排氣速度有助于提高排氣效率和生產率。
特別適用于半導體制造設備和小型設備的濺射工藝。
1臺壓縮機最多可以運行四臺泵。
可以根據您的應用進行設計和制造。
| 排氣速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
| 氫 | 500 | ||
| 氬 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 極限壓力 | Pa | 10-7 | |
| 最大流量 | 氬 | Pa?L/s | 1.3×103 |
| 排氣容量 | 氬 | Pa?L | 1.0×107 |
| 氫 | 1.5×105 | ||
| 冷卻下降時間 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 重量 | Kg | 14.5 | |
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