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      原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

      簡要描述:原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵
      螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

      • 產(chǎn)品型號:LR421-T
      • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
      • 更新時間:2025-11-16
      • 訪  問  量:524
      詳情介紹

      原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

      原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

      特點

      通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。

      采用ULVAC 設(shè)計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

      從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

      目的

      半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

      真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

      鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

      醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

      螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

      規(guī)格

      型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
      最大
      排氣速度
      50Hz62 m3/h
      (1030 L/min)
      112 m3/h
      (1860 L/min)
      183 m3/h
      (3100 L/min)
      440 m3/h
      (7333 L/min)
      440 m3/h
      (7333 L/min)
      60Hz80 m3/h
      (1333 L/min)
      126 m3/h
      (2100 L/min)
      237 m3/h
      (3950 L/min)
      到達壓力5.0 Pa
      最大排氣壓力 (吸入圧力) 大氣壓
      最大排氣口壓力
      (排出圧力)
      1~ 大氣壓 Pa
      吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
      排氣口KF40VG50
      質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
      電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
      380~440 VAC(50/60 Hz)
      電流值穩(wěn)定時6.9 A
      (at 200V)
      11.2 A
      (at 200V)
      18.9 A
      (at 200V)
      20.8 A
      (at 200V)
      最大值7.3 A
      (at 200V)
      11.8 A
      (at 200V)
      20.6 A
      (at 200V)
      48.5 A
      (at 200V)
      冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
      冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
      吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
      二次壓力0.05~0.1 MPa
      氮氣吹掃5 SLM
      氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

      *1 請訂購時 



      型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
      (TT)
      LR3601-RLR3601-TR
      (TTR)
      使用泵干式
      真空泵
      LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
      機械
      增壓泵
      PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
      (-T)
      PRC-036DPRC-036D
      (D-T)
      最大
      排氣
      速度
      50Hz359 m3/h
      (5,980
      L/min)
      653 m3/h
      (10,900
      L/min)
      1,012 m3/h
      (16,900
      L/min)
      1,701 m3/h
      (28,350
      L/min)
      3,200 m3/h(53,333 L/min)
      60Hz365 m3/h
      (6,080
      L/min)
      701 m3/h
      (11,700
      L/min)
      1,051 m3/h
      (17,500
      L/min)
      1,784 m3/h
      (29,700
      L/min)
      到達壓力0.67 Pa
      最大排氣壓力
      (吸入圧力)
      大氣壓
      最大排氣口壓力
      (排出圧力)
      1~ 大氣壓 Pa
      吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
      (KF80)
      VG100
      (KF100)
      VG150
      (KF100)
      VG150
      排氣口KF40KF50
      MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
      TT:×
      ×TR:×
      TTR:〇
      質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
      電源
      *2
      三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
      電流值穩(wěn)定時7.0 A
      (at 200V)
      12.3 A
      (at 200V)
      13.7 A
      (at 200V)
      21.4 A
      (at 200V)
      31.0 A(at 200V)
      20.5 A(at 400V)
      35.4 A(at 200V)
      20.5 A(at 400V)
      最大值9.6 A
      (at 200V)
      19.0 A
      (at 200V)
      24.2 A
      (at 200V)
      39.8 A
      (at 200V)
      58.4 A(at 200V)
      40.5 A(at 400V)
      82.0 A(at 200V)
      40.5 A(at 400V)
      冷卻水
      一次壓力
      0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水
      出入口壓差
      >0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
      吹掃氣一次
      壓力
      0.1~0.5 MPa
      二次
      壓力
      0.05~0.1 MPa
      N2
      吹掃
      5 SLM
      氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM

      *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進行MBP表面處理。
      *2 請訂購時
       
      *3 根據(jù)用途,使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報價。


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